对样品进行显微处理的组合设备工具

摘要

一种组合工具，包括对围绕可旋转的基板定位的样品进行显微处理的多个工具。基板上的样品座在该工具的工作区域之间转动样品。可滑动真空密封保持样品室中的真空，对要求真空的工具来说。

主权项

一种对样品进行显微处理的设备，包括：可围绕旋转轴旋转的基板；多个样品处理工具，包括至少一个在小于大气压的条件下对样品进行操作的带电粒子束工具，每个工具包括工作区域，将该工作区域定位在基本上以该旋转轴为中心的工具圆周上；用于保持样品的在所述基板上的多个凹槽，所述凹槽沿基板圆周定位，基板圆周以旋转轴线为中心并且与工具圆周的直径相等，以便使该基板可旋转地将该多个凹槽定位到该多个工具的工作区域中，从而多个样品能够由不同的工具进行处理；以及所述带电粒子束工具包括具有轴承表面的真空室，所述轴承表面与基板形成了滑动真空密封，使得在凹槽中的样品能够从大气压下的工作区域旋转进入所述至少一个带电粒子束工具的工作区域，并且在工具操作的时候被保持低于大气压。