银浆固化烘箱内气体压力控制装置及其控制方法

摘要

本发明提供了一种银浆固化烘箱内气体压力的控制装置，具有气动式自动风门、手动负压调节阀、手动正压调节阀、主抽风管道、付抽风管道、烘箱、温度传感器等部件。烘箱连接主抽风管道，主抽风管道中段连接有付抽风管道；主抽风管道中设置有气动式自动风门和手动负压调节阀，付抽风管道中设置有手动正压调节阀，温度传感器连接烘箱上，微压测量表连接在主抽风管道上。本发明使用时，当烘箱温度小于X℃，温度传感器通过自控装置控制气动式自动风门打开；当烘箱温度大于X℃时，气动式风门关闭，残余的胶挥发物通过付抽风管道排放。本发明解决了胶固化过程中器件氧化和沾污的问题，提高了键合质量和器件的寿命，可广泛应用于电子产品封装行业。

主权项

一种银浆固化烘箱内气体压力控制装置，含有主抽风管道（6）、副抽风管道（11）、烘箱（2）及其内部能放置的待胶接零件、焊接或者胶接用银浆，主抽风管道出风口（7）连接有抽风机，烘箱（2）连接有N₂气源（1）作为烘箱（2）中的惰性保护气体，其特征在于：还含有下列组成部件：气动式自动风门（5）、手动负压调节阀（8）、手动正压调节阀（10）、微压测量表（13）、温度传感器（3）、自控装置（4）；烘箱（2）连接着主抽风管道入风口（14）；主抽风管道（6）上连接副抽风管道入风口（12）、副抽风管道出风口（9）；在主抽风管道（6）中，副抽风管道入风口（12）与副抽风管道出风口（9）之间设置有气动式自动风门（5），能够根据烘箱（2）中气体的温度控制气动式自动风门（5）的开关；副抽风管道出风口（9）与主抽风管道出风口（7）之间设置有手动负压调节阀（8），能够根据微压测量表（13）显示的气体压力手动控制其风门的开关；在副抽风管道（11）中，设置有手动正压调节阀（10），能够根据微压测量表（13）显示的气体压力手动控制其风门的开关；温度传感器（3）连接在烘箱（2）上，用于感知或测量其内部气体的温度数据，温度传感器（3）通过自控装置（4）连接控制气动式自动风门（5），实现其风门的自动开关。