| 发明名称 | 用于蚀刻铜和铜合金的水性组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于蚀刻铜和铜合金的水性组合物和方法。该水性组合物包含Fe<sup>3+</sup>离子、酸和N-烷氧基化聚酰胺。该水性组合物在印刷电路板、IC衬底等的制造中制备细小结构是特别有用的。 | ||
| 申请公布号 | CN103842554A | 申请公布日期 | 2014.06.04 |
| 申请号 | CN201280048796.7 | 申请日期 | 2012.11.08 |
| 申请人 | 安美特德国有限公司 | 发明人 | N.吕措;M.托姆斯;A.埃克斯纳;M.克洛皮施 |
| 分类号 | C23F1/18(2006.01)I;C23F1/46(2006.01)I;C23F1/44(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I;H05K3/10(2006.01)I;H01L21/3213(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 张萍;李炳爱 |
| 主权项 | 用于铜和铜合金蚀刻的水性组合物，其包含1至100 g/l Fe<sup>3+</sup>离子，10至400 g/l的至少一种酸，以及0.001至10 g/l的至少一种选自N‑烷氧基化聚酰胺类的蚀刻添加剂。 | ||
| 地址 | 德国柏林 | ||