一种双肟酯类光引发剂及其制备方法和应用

摘要

本发明公开一种如通式（I）所示的双肟酯类光引发剂，通过在化学结构中引入双肟酯基团，该光引发剂不仅在储存稳定性、感光度、显影性和图案完整性等方面性能优异，而且与同类光引发剂相比，产品表现出了明显提高的感光度和热稳定性。

主权项

1.一种双肟酯类光引发剂，其具有如通式（I）所示结构：其中，R₁为其中，*表示连接位，X为空、单键或C₁-C₅的亚烷基基团；Y为O、S或R₅N-基团，其中R₅为氢、C₁-C₂₀的直链或支链烷基、C₃-C₂₀的环烷基、C₄-C₂₀的环烷基烷基或C₄-C₂₀的烷基环烷基；R₂、R₃相互独立地表示为C₁-C₂₀的直链或支链烷基、C₃-C₂₀的环烷基、C₄-C₂₀的环烷基烷基、C₄-C₂₀的烷基环烷基，任选地，上述基团中的氢可以被选自卤素、硝基、羟基、羧基、磺酸基、氨基、氰基和烷氧基的基团取代；条件是，R₂和R₃中至少一个是未被取代或被一个或多个选自卤素、硝基、羟基、羧基、磺酸基、氨基、氰基和烷氧基的基团取代的环烷基烷基，所述环烷基烷基的结构为其中n为1-5的整数，m为1-6的整数；R₄表示为C₁-C₂₀的直链或支链烷基、C₃-C₂₀的环烷基、C₄-C₂₀的环烷基烷基、C₄-C₂₀的烷基环烷基、C₃-C₂₀的杂芳基、C₆-C₂₀的芳基，任选地，上述基团中的氢可以被选自卤素、苯基、硝基、羟基、羧基、磺酸基、氨基、氰基和烷氧基的基团所取代。