坐标测量机（CMM）和补偿坐标测量机误差的方法

摘要

本发明涉及一种用于确定待测物体(12)上的测量点(13)的至少一个空间坐标的坐标测量机(1)。所述坐标测量机包括：基座(3)；探头(6)，所述探头用于接近所述测量点(13)；以及框架结构(15)，所述框架结构用于将所述探头(6)连接到所述基座(3)。由此，所述框架结构包括：至少第一框架部件和第二框架部件(14，22，24)；以及至少一个线性驱动机构(2)，所述至少一个线性驱动机构可动地连接所述第一框架部件和所述第二框架部件(14，22，24)，以提供所述探头(6)相对于所述基座(3)沿第一方向(X，Y，Z)的可动性。根据本发明，由基准光束(71)提供第一基准路径，其中所述基准光束(71)沿着所述线性驱动机构的所述导向件延伸，使得所述基准路径平行于所述第一方向(X，Y，Z)。此外，为所述基准光束(71)配置至少一个位移传感器(9，9a，9b)，所述基准光束(71)和所述位移传感器(9，9a，9b)被设计并布置成使得，所述线性驱动机构的所述可动构件相对于所述第一基准路径的位移能够被测量，以表明所述可动构件从通常的支承位置的平移位移和/或旋转位移。

主权项

一种坐标测量机（1），其用于确定待测物体（12）上的测量点（13）的至少一个空间坐标，所述坐标测量机包括：·基座（3）；·探头（6），所述探头用于接近所述测量点（13）；·框架结构（15），所述框架结构（15）用于将所述探头（6）连接到所述基座（3），所述框架结构（15）包括：ο至少第一框架部件和第二框架部件（14，22，24）；以及·至少一个线性驱动机构，所述至少一个线性驱动机构可动地连接所述第一框架部件和所述第二框架部件（14，22，24），以提供所述探头（6）相对于所述基座（3）沿第一方向（X，Y，Z）的可动性，其中，所述至少一个线性驱动机构包括：ο沿所述第一方向的线性导向件；ο可动构件，所述可动构件为了沿着所述导向件运动而被支承部支撑；以及ο线性测量仪器，所述线性测量仪器用于确定所述可动构件沿所述第一方向（X，Y，Z）的第一驱动位置，所述坐标测量机的特征在于：·被设计为基准光束（71）的至少第一光学基准元件，用以提供第一基准路径，其中，所述基准光束（71）沿着所述线性驱动机构的所述导向件延伸，从而所述基准路径平行于所述第一方向（X，Y，Z）；以及·为所述基准光束（71）配置的至少第一位移传感器和第二位移传感器（9，9a，9b），所述基准光束（71）和所述位移传感器（9，9a，9b）是如此设计和布置的，即，从所述可动构件上的规定位置至所述基准光束（71）的两个或更多个距离和/或所述基准光束（71）的入射位置能够由所述位移传感器（9，9a，9b）测量，其中，所述距离或者所述入射位置表明了所述可动构件相对正常支承位置的平移位移和旋转位移，其中，ο至少所述第一位移传感器（9b）被构造成部分地透射所述基准光束（71），并且至少所述第二位移传感器（9a）被配置用于所述基准光束（71）的被透射部分，并且所述位移传感器（9，9a，9b）被构造成感光探测器元件，所述感光探测器元件被构造成用于测量距所述基准光束（71）的距离和/或所述基准光束（71）的入射位置，用以表明所述可动构件沿垂直于所述第一方向（X，Y，Z）的方向相对于所述第一基准路径的位移。