一种耐高温电子器件元件

摘要

本实用新型涉及一种耐高温电子器件元件，尤其涉及一种石油测井井下钻具电路中电子器件所使用的元件，该电子器件元件的结构包括衬底层、绝缘埋层、导体层和电极，其中，绝缘埋层设置在衬底层的上表面，导体层设置在绝缘埋层的上表面，电极设置在导体层的上表面，所述衬底层为Si层，所述绝缘埋层为AlN层，所述导体层为SiC层，所述电极为钨极。采用SiCOI（绝缘衬底上的碳化硅）制作的耐高温电子器件元件，可以有效避免漏电流的增加、阻断闩锁效应的发生并且阈值电压在高温下更稳定，适合石油测井井下钻具在高温环境下电子器件元件的选择。

主权项

一种耐高温电子器件元件，其特征在于，该电子器件元件的结构包括衬底层、绝缘埋层、导体层和电极；其中，所述绝缘埋层设置在衬底层的上表面，所述导体层设置在绝缘埋层的上表面，所述电极设置在导体层的上表面；所述衬底层为Si层，所述绝缘埋层为AlN层，所述导体层为SiC层，所述电极为钨极。