主权项 |
硅片生产废砂浆在线回收装置,其特征在于包括卧式离心机、中空纤维膜过滤机、砂浆搅拌槽,卧式离心机设置有废砂浆进料口、废渣出料口、清液出料口和碳化硅出料口;清液出料口通过管路连接清液储罐,清液储罐通过管路与粗滤装置连接,粗滤装置通过管路与中空纤维膜过滤机连接;中空纤维膜过滤机由离心进料泵和中空纤维膜组件构成,粗滤装置通过管路与离心进料泵连接,离心进料泵通过分流管分别连接到中空纤维膜组件上,中空纤维膜组件上设置有浓液出口,浓液出口通过浓液回流管连接到清液储罐上,中空纤维膜组件下游端通过汇流管连接到成品液出口上,成品液出口通过成品液出管连接到成品液储罐上,加药箱与成品液储罐连通;成品液储罐上连接有成品液输送管,成品液输送管上设置有成品液输送泵、数控阀门、数控流量计,成品液输送管末端连接到砂浆搅拌槽内,砂浆搅拌槽上设置有数字比重计、液位控制器、超声波发生器;卧式离心机的碳化硅出料口与砂浆搅拌槽连通,砂浆搅拌槽与成品砂浆输料泵连接。 |