发明名称 带有弱导光波导模式的电吸收调制器
摘要 一种电吸收调制器,包括在至少一个p-掺杂半导体层(6)和至少一个n-掺杂半导体层(8)之间的一个吸收层(7),这些层形成了一个脊形波导结构,吸收层的厚度在9-60nm之间,脊形的宽度在4.5-12微米之间。
申请公布号 CN101939689B 申请公布日期 2014.06.04
申请号 CN200880115149.7 申请日期 2008.09.10
申请人 华为技术有限公司 发明人 戴维·格雷汉姆·穆迪
分类号 G02F1/025(2006.01)I;G02F1/017(2006.01)I;G02B6/42(2006.01)I 主分类号 G02F1/025(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种电吸收调制器,包括在至少一个p‑掺杂半导体层和至少一个n‑掺杂半导体层之间的一吸收层,其中,这些多个层形成一个脊形波导结构,吸收层的厚度在9‑60nm之间,脊形的宽度在4.5‑‑12微米之间,其特征在于,所述吸收层包括数个半导体层:带有两个量子阱的多量子阱MQW;紧接于MQW上面和下面的InGaAsP层;以及位于InGaAsP层外部的InP层,其中,所述MQW由带有势垒区的InGaAs组成,所述势垒区由InAlAs组成。
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