基板处理装置及方法、基板把持机构以及基板把持方法

摘要

一种基板处理装置、基板处理方法、基板把持机构以及基板把持方法。具备：对基板（W）进行研磨的研磨部（3）；搬运基板（W）的搬运机构（5、6）；以及对研磨后的基板（W）进行清洗、干燥的清洗部（4）。清洗部（4）具有用于清洗多个基板的多个清洗线。该清洗线具备多个清洗模块（201A、201B、202A、202B），通过多个搬运机器人（209、210）来搬运基板。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，具有：研磨部，具有保持基板且能够上下移动的顶圈；搬运机构，具有能够进行所述顶圈和基板的交接且能够上下移动的搬运台；以及挡圈固定器，配置在所述顶圈和所述搬运台之间，所述顶圈具有顶圈主体以及相对于该顶圈主体能够相对地上下移动的挡圈，所述挡圈固定器具有上推所述挡圈的多个上推机构。