发明名称 |
激光打孔方法及激光打孔系统 |
摘要 |
本发明提供一种激光打孔方法及激光打孔系统,该激光打孔方法包括:孔边界形成步骤:输出脉冲激光光束,在待打孔基板上进行扫描,形成预成型孔的边界切割槽;孔内材料加热步骤:输出CO<sub>2</sub>激光光束,使CO<sub>2</sub>激光光束与预成型孔相对准,对预成型孔的基板材料进行预定时间的加热;孔成型步骤:对预成型孔的基板材料进行冷却,使基板材料发生变形而能够从待打孔基板上脱落。本发明所述方法及系统,能够解决现有技术的激光打孔方式无法适应于超高化学强度的基板,以及孔加工表面品质差的问题。 |
申请公布号 |
CN103831539A |
申请公布日期 |
2014.06.04 |
申请号 |
CN201410058041.6 |
申请日期 |
2014.02.20 |
申请人 |
合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
董岱;公伟刚;黄阳;陶胜 |
分类号 |
B23K26/382(2014.01)I;B23K26/0622(2014.01)I;B23K26/03(2006.01)I;B23K26/16(2006.01)I;B23K26/14(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I |
主分类号 |
B23K26/382(2014.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
许静;黄灿 |
主权项 |
一种激光打孔方法,其特征在于,所述激光打孔方法包括:孔边界形成步骤:输出脉冲激光光束,在待打孔基板上进行扫描,形成预成型孔的边界切割槽;孔内材料加热步骤:输出CO<sub>2</sub>激光光束,使CO<sub>2</sub>激光光束与预成型孔相对准,对预成型孔的基板材料进行预定时间的加热;孔成型步骤:对预成型孔的基板材料进行冷却,使基板材料发生变形而能够从待打孔基板上脱落。 |
地址 |
230011 安徽省合肥市新站区工业园内 |