| 发明名称 | 光波导器件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明目的是提供一种对构成金属包层型偏光元件的金属膜的氧化、制造工艺的后续工序中的刻蚀进行抑制，从而光学特性优异的光波导器件及其制造方法。一种光波导器件，具有：基板（1），具有电光学效果；光波导（2），形成在该基板上；金属包层型偏光元件（3），以将该光波导的至少一部分覆盖的方式形成，所述光波导器件的特征在于，在该金属包层型偏光元件上以将金属膜（30）的露出部分全部覆盖的方式形成有保护膜（33）。 | ||
| 申请公布号 | CN103842866A | 申请公布日期 | 2014.06.04 |
| 申请号 | CN201280048251.6 | 申请日期 | 2012.09.12 |
| 申请人 | 住友大阪水泥股份有限公司 | 发明人 | 藤野哲也;近藤胜利 |
| 分类号 | G02B6/122(2006.01)I;G02B6/12(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I | 主分类号 | G02B6/122(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 高培培;车文 |
| 主权项 | 一种光波导器件，具有：基板，具有电光学效果；光波导，形成在该基板上；金属包层型偏光元件，以将该光波导的至少一部分覆盖的方式形成，所述光波导器件的特征在于，在该金属包层型偏光元件上以将金属膜的露出部分全部覆盖的方式形成有保护膜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||