基板处理线及基板处理方法

摘要

本发明涉及基板处理线及基板处理方法，所述基板处理线包括具备支撑基板并沿基板搬送方向搬送该基板的搬送带的多个处理装置。其中一处理装置具备作为所述搬送带的可动搬送带，该可动搬送带在与所述基板搬送方向正交的正交方向上移动自如。所述一处理装置及与该一处理装置相邻的另一处理装置中设置有检测基板位置的一位置检测部及另一位置检测部。控制可动搬送带的移动的控制部根据从所述一位置检测部及所述另一位置检测部这两者的检测结果判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制所述可动搬送带的移动。由此，抑制可动搬送带在不适当的时期的移动。

主权项

一种基板处理线，其特征在于包括：多个处理装置，分别具备支撑基板并沿基板搬送方向搬送该基板的搬送带，该多个处理装置沿所述基板搬送方向排列设置，在该多个处理装置的所述搬送带之间交接所述基板，该多个处理装置中的各处理装置对所述基板进行处理；驱动部，沿与所述基板搬送方向正交的正交方向驱动所述多个处理装置中的一处理装置所具备的作为所述搬送带的可动搬送带，该可动搬送带在所述正交方向上移动自如；控制部，控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动；一位置检测部，检测所述一处理装置的所述可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；另一位置检测部，检测所述多个处理装置中的与所述一处理装置相邻的另一处理装置的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；其中，所述控制部根据从所述一位置检测部及所述另一位置检测部这两者的检测结果判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动。