通过使硅烷在流化床反应器中热分解而制备多晶硅

摘要

公开了通过硅烷的热分解而制备多晶硅的方法。该方法一般性地涉及使硅烷在反应条件下操作的流化床反应器中热分解，其产生相对于常规制备方法的高生产率。

主权项

一种通过使硅烷在具有反应室的流化床反应器中热分解而制备多晶硅的方法，反应室具有核心区域、外围区域和进料气通过的横截面，流化床反应器产生至少约100kg/hr多晶硅/平方米反应室横截面，所述方法包括：将包含硅烷的第一进料气引入反应室的核心区域中，反应室包含硅颗粒且第一进料气包含小于约80体积%硅烷，其中硅烷在反应室中热分解以使一定量的硅沉积于硅颗粒上；和将第二进料气引入反应室的外围区域，其中第一进料气中的硅烷浓度超过第二进料气中的浓度，供入反应室中的进料气中的总硅烷浓度为小于约15体积%，反应室中的压力为至少约3巴。