图案形成方法及使用其的装置的制造方法以及装置

摘要

本发明提供一种图案形成方法，所述图案形成方法将在基板上形成有光热转换层、在所述光热转换层上形成有分区图案且在所述分区图案内存在转印材料的施主基板与装置基板对置，用光照射光热转换层使上述转印材料的至少一部分与上述分区图案的至少一部分同时被加热，由此将上述转印材料转印到装置基板上。通过上述图案形成方法，可以大型化且高精度地形成微细图案、且不使以有机EL材料为代表的薄膜的特性劣化。

主权项

一种图案形成方法，其特征在于，将在基板上形成有光热转换层和分区图案、且在所述分区图案内存在转印材料的施主基板与装置基板对置，使所述转印材料仅存在于所述分区图案内，用光照射光热转换层使所述转印材料的至少一部分与所述分区图案的至少一部分同时被加热，由此将所述转印材料转印到装置基板上。