| 发明名称 | 电子枪以及带电粒子束装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种电子枪以及带电粒子束装置。减少由设于电子枪中的引出电极的光阑所产生的二次电子的量来抑制闪光的产生。若对电子枪中的最接近于电子源(1)的引出电极(5)的光阑(7A)涂敷碳等二次电子发射率小的薄膜，则能够减少二次电子的产生量。因为成为闪光的产生原因的由引出电极(5)所产生的二次电子减少，所以结果闪光减少。此外，通过在引出电极(5)组装2枚光阑(7A、7B)，并对该2枚光阑赋予成为与引出电极(5)相等电位的电位，从而能够消除从引出电极(5)的下部向上部渗出的电场。其结果，当电子束与引出电极(5)发生碰撞时所产生的二次电子不会受到从引出电极(5)通过的方向上的力，其结果闪光减少。 | ||
| 申请公布号 | CN103843104A | 申请公布日期 | 2014.06.04 |
| 申请号 | CN201280039808.X | 申请日期 | 2012.05.22 |
| 申请人 | 株式会社日立高新技术 | 发明人 | 渡边俊一;大西崇;小濑洋一;中村邦康;森山胜;铃木友则 |
| 分类号 | H01J37/073(2006.01)I;H01J37/09(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/073(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王亚爱 |
| 主权项 | 一种电子枪，其特征在于，具备：电子源；引出电极，其为了从所述电子源引出电子而对该电子源赋予电场；和加速电极，其将由所述引出电极所引出的电子加速到规定的加速电压为止，在所述引出电极设有使来自所述电子源的电子的一部分通过的光阑，所述光阑设有1枚以上，至少对最接近所述电子源的光阑的基材表面施加基于在与所述光阑发生碰撞的一次电子的照射能量为2kV～3kV的情况下具有0.6以下的二次电子发射率的材料的涂敷。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||