真空夹持中的受控表面粗糙度

摘要

本发明揭示一种设备，特定来说，本发明揭示一种用于夹持薄型部件供微加工处理的卡盘。所述卡盘由具有第一表面及与所述第一表面相对的第二表面的板形主体形成。所述板形主体包含透过材料，且所述第一表面或所述第二表面中的至少一者为粗糙化表面。可使用允许光透过以背光照亮供检验的经处理部件的卡盘支撑件来将所述卡盘并入到微加工系统中。

主权项

一种用于支撑待微加工的部件的设备，其包括：卡盘，其由具有第一表面及与所述第一表面相对的第二表面的板形主体形成，所述板形主体包含透光材料；且其中所述第一表面或所述第二表面中的至少一者为粗糙化表面。