发明名称 | 门阀阀板 | ||
摘要 | 本实用新型提供一种门阀阀板,所述门阀阀板包括:与真空腔连通的开口进行开闭的挡板、与所述挡板连接的气缸联动杆,所述挡板上设有缓冲装置。当阀板受气缸的上下推动而向与真空腔的腔体开口相向位置移动,阀板的挤压力量小于缓冲装置的缓冲力量时,缓冲装置首先接触到腔体表面,从而降低了阀板对真空腔的密封圈的挤压和冲击力量,延长了密封圈的使用寿命。 | ||
申请公布号 | CN203627863U | 申请公布日期 | 2014.06.04 |
申请号 | CN201320531706.1 | 申请日期 | 2013.08.29 |
申请人 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 | 发明人 | 王燕锋;高峰;杨硕 |
分类号 | F16K3/30(2006.01)I | 主分类号 | F16K3/30(2006.01)I |
代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人 | 张瑾 |
主权项 | 一种门阀阀板,包括对与真空腔连通的开口进行开闭的挡板、与所述挡板连接的气缸联动杆,其特征在于,所述挡板上设有缓冲装置。 | ||
地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市开发区光电产业园富春江路320号 |