发明名称 微电极阵列植入式芯片及其制备方法
摘要 本发明提供了一种微电极阵列植入式芯片及其制备方法。该微电极阵列植入式芯片包括:基底,其前端呈针状,向后逐渐增宽;测试电极层,形成于基底上,包括:至少一种的微电极阵列;绝缘层,形成于除微电极阵列所在区域之外的基底上;以及参比电极层,形成于绝缘层上,与测试电极层的微电极阵列相互错开,包括与至少一种微电极阵列相对应的参比电极。本发明中,参比电极与测试电极分布在不同平面上,从而节约了芯片面积,方便进行植入式操作。
申请公布号 CN103829938A 申请公布日期 2014.06.04
申请号 CN201210487381.1 申请日期 2012.11.26
申请人 中国科学院电子学研究所 发明人 蔚文婧;蔡新霞;宋轶琳;刘春秀;蒋庭君;石文韬;林楠森;王蜜霞;徐声伟
分类号 A61B5/04(2006.01)I 主分类号 A61B5/04(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 曹玲柱
主权项 一种微电极阵列植入式芯片,其特征在于,包括:基底,其前端呈针状,向后逐渐增宽;测试电极层,形成于所述基底上,包括:至少一种的微电极阵列;绝缘层,形成于除所述微电极阵列所在区域之外的基底上;以及参比电极层,形成于所述绝缘层上,与所述测试电极层的微电极阵列相互错开,包括与所述至少一种微电极阵列相对应的参比电极。
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