发明名称 |
微电极阵列植入式芯片及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种微电极阵列植入式芯片及其制备方法。该微电极阵列植入式芯片包括:基底,其前端呈针状,向后逐渐增宽;测试电极层,形成于基底上,包括:至少一种的微电极阵列;绝缘层,形成于除微电极阵列所在区域之外的基底上;以及参比电极层,形成于绝缘层上,与测试电极层的微电极阵列相互错开,包括与至少一种微电极阵列相对应的参比电极。本发明中,参比电极与测试电极分布在不同平面上,从而节约了芯片面积,方便进行植入式操作。 |
申请公布号 |
CN103829938A |
申请公布日期 |
2014.06.04 |
申请号 |
CN201210487381.1 |
申请日期 |
2012.11.26 |
申请人 |
中国科学院电子学研究所 |
发明人 |
蔚文婧;蔡新霞;宋轶琳;刘春秀;蒋庭君;石文韬;林楠森;王蜜霞;徐声伟 |
分类号 |
A61B5/04(2006.01)I |
主分类号 |
A61B5/04(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
曹玲柱 |
主权项 |
一种微电极阵列植入式芯片,其特征在于,包括:基底,其前端呈针状,向后逐渐增宽;测试电极层,形成于所述基底上,包括:至少一种的微电极阵列;绝缘层,形成于除所述微电极阵列所在区域之外的基底上;以及参比电极层,形成于所述绝缘层上,与所述测试电极层的微电极阵列相互错开,包括与所述至少一种微电极阵列相对应的参比电极。 |
地址 |
100080 北京市海淀区北四环西路19号 |