微型压电振动能量收集器及其制造方法

摘要

本发明设计一种新型MEMS压电振动能量收集器的结构及其制备方法，其包括双抛衬底；双面衬底保护层；正面金属导电层(底)作为输出底电极；金属上层制备图形化后的导电胶；PZT压电片通过导电胶键合在硅片底电极；整片覆盖顶电极金属导电层(顶)；KOH通过背面衬底保护层窗口腐蚀，释放出不含Si以环氧树脂为主的悬臂梁结构；划片释放出悬臂梁-质量块结构。本发明结构简单易于实现，便于批量生产，敏感度，输出电平、功率高，适用范围广，安全可靠。

主权项

一种微型压电振动能量收集器，包括：衬底，衬底背面具有开口，剩余的衬底部分作为质量块；第一保护层，位于衬底正面上，开口暴露第一保护层；第一金属层，位于第一保护层上；导电胶层，位于第一金属层上，位置与开口相对应；压电陶瓷片，位于导电胶层上；第二金属层，位于压电陶瓷片上、以及位于未被导电胶层覆盖第一金属层上；其中，第二金属层、压电陶瓷片、导电胶层、第一金属层以及第一保护层构成悬梁臂，跨越开口两侧的质量块。