一种高真空烧结炉

摘要

本实用新型涉及一种高真空烧结炉，包括炉体、风机、真空阀、抽气泵和小机械泵。该真空阀包括主阀；该抽气泵包括扩散泵、罗茨泵和滑阀泵。该风机、该炉体和该主阀通过管道依序连接。该扩散泵的进口与该主阀的第一出口通过管道连接，并且，该扩散泵、该罗茨泵和该滑阀泵通过管道依序连接。该小机械泵的进口通过管道与该扩散泵的出口连接。本实用新型的高真空烧结炉中的小机械泵防止了扩散泵、罗茨泵和滑阀泵在停止工作后扩散泵中的油蒸汽倒灌进入炉体内，保障了炉内烧结环境的纯度，进而提高了高真空烧结炉的烧结质量。

主权项

一种高真空烧结炉，其特征在于：包括炉体、风机、真空阀、抽气泵和小机械泵；该真空阀包括主阀；该抽气泵包括扩散泵、罗茨泵和滑阀泵；该风机、该炉体和该主阀通过管道依序连接；该扩散泵的进口与该主阀的第一出口通过管道连接，并且，该扩散泵、该罗茨泵和该滑阀泵通过管道依序连接；该小机械泵的进口通过管道与该扩散泵的出口连接。