Fe-Al型合金溅射靶

摘要

一种Fe-Al合金溅射靶，其特征在于，Al含量为1～23原子%，氧含量为100重量ppm以下，其余为Fe和不可避免的杂质。将Al为1～23原子%、其余为Fe和不可避免的杂质的Fe原料和Al原料在熔化温度为1200～1600℃、平均升温速度为300℃/小时以上的条件下熔化(其中，在Al为15～23原子%的情况下，在熔化温度为1400～1600℃的范围且平均升温速度为320℃/小时以上的条件下熔化或者在熔化温度为1200℃以上且低于1400℃的条件下熔化；在Al为1～15%且在Ar气氛中熔化的情况下，将熔化温度设定为1200～1600℃的范围且将平均升温速度设定为300℃/小时以上；在Al为1～15%且在大气气氛中熔化的情况下，将熔化温度设定为1200～1600℃的范围且将平均升温速度设定为320℃/小时以上)，对其进行铸造后，进行轧制和机械加工。

主权项

一种Fe‑Al合金溅射靶，其特征在于，Al含量为1～23原子%，氧含量为100重量ppm以下，其余为Fe和不可避免的杂质。