基板处理装置的控制系统、收集单元、基板处理系统及其控制方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置及其控制系统、收集单元、以及控制方法，该基板处理装置具有从构成基板处理装置的各部件收集数据的收集单元，该收集单元至少具有临时存储收集到的数据的缓存器，还具有根据附加在数据上的时刻数据来按时序重新排列的机构。根据本发明，能够提供适当的数据。

主权项

一种基板处理装置的控制系统，其特征在于，具有：对由构成基板处理装置的各部件生成的数据进行收集的收集单元；和对由上述各部件生成的数据附加表示收集时刻的时刻数据并传送到上述收集单元的控制器，上述控制器具有：控制部，其根据用于对基板赋予规定处理的方法来控制上述各部件，接收由上述各部件生成的上述数据，并对接收到的数据附加上述时刻数据；和操作部，其对成为目的的方法进行编辑，接收由上述部件生成的上述数据，对接收到的上述数据附加上述时刻数据并传送到上述收集单元，且接收在上述控制部中附加了上述时刻数据的上述数据并传送到上述收集单元，上述收集单元具有：临时存储收集到的上述数据的缓存器；和在将上述数据存储到上述缓存器内时，根据附加在上述数据上的上述时刻数据来按上述收集时刻的顺序重新排列上述数据的机构，上述收集单元构成为，在经由上述控制器接收到由上述各部件生成的上述数据时，根据在上述控制器中被附加的上述时刻数据，将接收到的上述数据按上述收集时刻的顺序存储到上述缓存器内，在上述数据于预定期间内未被存储到上述缓存器内的情况下，将只有上述时刻数据的空数据存储到上述缓存器内。