一种半导体制程中的偏移管理的良率提升系统

摘要

本发明公开了一种半导体制程中的偏移管理的良率提升系统，其中，包括电子数据收集记录模块和执行模块，所述执行模块含有数个顺序排列的子模块，每个所述子模块包括执行部分和检查部分；除排列在第一的所述子模块以外，每个所述子模块的执行部分与该子模块的前一个子模块的检查部分相连接；除排列在最后的子模块以外，每个所述子模块的检查部分与该子模块的后一个子模块的执行部分相连接，所述每个子模块的检查部分与所述电子数据收集记录模块连接。本发明的有益效果是：半导体制程中存在潜在风险的晶圆被记录、集中分析并被分配到相应的执行模块中，以使得风险得以最小化。

主权项

一种半导体制程中的偏移管理的良率提升系统，其特征在于，包括电子数据收集记录模块和执行模块，所述执行模块含有数个顺序排列的子模块，每个所述子模块包括执行部分和检查部分；除排列在第一的所述子模块以外，每个所述子模块的执行部分与该子模块的前一个子模块的检查部分相连接；除排列在最后的子模块以外，每个所述子模块的检查部分与该子模块的后一个子模块的执行部分相连接，所述每个子模块的检查部分与所述电子数据收集记录模块连接；被执行体进入所述执行模块后，为每个所述子模块的执行部分顺序执行，每个所述子模块的检查部分对同属一个子模块的执行部分的执行结果进行检查后将所述被执行体传递至下一个所述子模块的执行部分，并将检查的获得的数据发送至所述电子数据收集记录模块；其中，所述半导体制程中的偏移管理的良率提升系统，还包括异常情况报告数据记录模块、材料回溯数据记录模块、潜在风险数据记录模块和异常处理模块，所述异常处理模块包括异常触发子模块、报废判断子模块、返工子模块、结果核实子模块和释放子模块；所述异常触发子模块与所述执行模块的每个子模块的执行部分和检查部分分别连接，所述异常触发子模块与所述报废判断子模块连接；所述报废判断子模块与所述异常情况报告数据记录模块、返工子模块以及所述结果核实子模块连接；所述返工子模块与所述结果核实子模块连接；所述结果核实子模块与所述释放子模块连接；所述释放子模块与所述执行模块的每个子模块的执行部分和检查部分分别连接，并与所述潜在风险数据记录模块连接；所述被执行体于所述执行模块中的每个子模块的执行部分或者检查部分发生异常时触发所述异常处理模块的异常触发子模块，所述异常触发子模块将所述被执行体相关数据传送至所述材料回溯数据记录模块，同时将所述被执行体传送至所述报废判断子模块；所述报废判断子模块判断所述被执行体是否需要报废，并将需要报废的被执行体数据传递至所述异常情况报告数据记录模块，将不是必须报废的被执行体传递至所述返工子模块；所述返工子模块对所述被执行体进行返工，并将完成返工的被执行体传递至所述结果核实子模块；所述结果核实子模块核实所述被执行体的返工结果，并将符合要求的被执行体传送至所述释放子模块，将不符合要求的被执行体传送至所述报废判断子模块；所述释放子模块将所述被执行体送回触发所述异常触发子模块的所述执行模块的某个子模块的执行部分或者检查部分，并将被执行体的数据传递至所述潜在风险数据记录模块。