| 发明名称 | 电极的制造方法、熔丝装置及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本公开涉及电极的制造方法、熔丝装置及其制造方法。所述熔丝装置包括：熔丝元件，所述熔丝元件包含相变材料；以及第一电极，所述第一电极与所述熔丝元件接触，并且所述第一电极在与所述熔丝元件接触的部分处具有亚光刻尺寸。根据本公开，熔丝装置的断开电流相比于相关技术能够被减小。 | ||
| 申请公布号 | CN103839919A | 申请公布日期 | 2014.06.04 |
| 申请号 | CN201210483777.9 | 申请日期 | 2012.11.23 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 李莹;吴关平 |
| 分类号 | H01L23/525(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/525(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 罗银燕 |
| 主权项 | 一种熔丝装置，包括：熔丝元件，所述熔丝元件包含相变材料；以及第一电极，所述第一电极与所述熔丝元件接触，并且所述第一电极在与所述熔丝元件接触的部分处具有亚光刻尺寸。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||