低损耗波导型光分路器

摘要

本发明涉及集成光学技术领域。它提出了一种低损耗波导型光分路器，由采用硅基沉积二氧化硅光波导的加工技术和工艺制成。在设计上采用正弦弯曲波导作为分叉波导，通过在波导器件与光纤耦合端口，波导分叉点嵌入锥形波导，在波导分叉区引入阶梯光栅，可最大限度地减小分支型分路器的插入损耗，提高功率分配的均匀性。其带光栅的Y型光分路结构，可以灵活地组成不同分路比的光分路器，提高了光信号的传送效率。该光器件不但结构灵活、紧凑，集成度高，体积小，重量轻，性能稳定可靠，而且适合大批量生产，生产效率高、成本低，可广泛地应用于光通信系统、光学仪器设备和光纤到户(FTTH)等应用场合。

主权项

一种低损耗波导型光分路器，由硅基晶圆，衬垫，波导光芯以及覆盖包层构成，其特征在于：硅基晶圆上，沉积折射率及厚度不同的二氧化硅衬垫，波导光芯和覆盖包层，构成平面光波导器件；在分路器光路设计上，采用正弦弯曲波导作为分叉波导，通过在波导器件与光纤耦合端口，波导分叉点嵌入锥形波导，在波导分叉区引入阶梯光栅，可最大限度地减小分支型分路器的插入损耗，提高功率分配的均匀性。以带阶梯光栅结构的Y型光分路器为基本单元，构成多级低损耗波导型光分路器。