发明名称 |
片盒升降装置及具有其的片盒传输系统 |
摘要 |
本发明公开了一种片盒升降装置,包括:壳体,所述壳体内具有承载腔室;片盒托盘,所述片盒托盘设在所述承载腔室内用于承载片盒;驱动器,所述驱动器用于驱动所述片盒托盘在所述承载腔室内沿着竖直方向可升降;和至少四个检测传感器,所述检测传感器分别设置在所述片盒托盘上并与所述片盒的所需摆放位置相对应,用于检测所述片盒是否放置在所述所需摆放位置。根据本发明实施例的片盒升降装置,可避免片盒未放置在所述所需摆放位置上而被挤碎的风险。本发明还公开了一种具有上述片盒升降装置的片盒传输系统。 |
申请公布号 |
CN103839860A |
申请公布日期 |
2014.06.04 |
申请号 |
CN201210483285.X |
申请日期 |
2012.11.23 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
魏晓 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 |
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 |
代理人 |
黄德海;贾玉姣 |
主权项 |
一种片盒升降装置,其特征在于,包括:壳体,所述壳体内具有承载腔室;片盒托盘,所述片盒托盘设在所述承载腔室内用于承载片盒;驱动器,所述驱动器用于驱动所述片盒托盘在所述承载腔室内沿着竖直方向可升降;和至少四个检测传感器,所述检测传感器分别设置在所述片盒托盘上并与所述片盒的所需摆放位置相对应,用于检测所述片盒是否放置在所述所需摆放位置。 |
地址 |
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |