编程列串扰在线检测方法

摘要

本发明揭示了一种编程列串扰在线检测方法，首先提供一晶圆，所述晶圆上具有自对准分栅闪存单元；然后，在线检测所述自对准分栅闪存单元的关键尺寸或膜厚，判断所述自对准分栅闪存单元是否有编程列串扰问题。在本发明提供的编程列串扰在线检测方法中，不需要进行后段的工艺，直接通过在线测量所述自对准分栅闪存单元的特定参数，便可以判断所述自对准分栅闪存单元是否有编程列串扰问题，从而能提前检测出闪存单元的编程列串扰的异常情况，节约工艺步骤。

主权项

一种编程列串扰在线检测方法，包括：提供一晶圆，所述晶圆上具有自对准分栅闪存单元；在线检测所述自对准分栅闪存单元的特定参数；将所述特定参数与一标准范围进行比较，根据比较结果判断所述自对准分栅闪存单元是否有编程列串扰问题。