一种基于动压效应的盘式抛光装置

摘要

本实用新型公开了一种基于动压效应的盘式抛光装置，抛光头下部为圆盘式结构与抛光垫一同形成抛光盘，盘底部带有动压槽，抛光盘为中间带孔的环形结构，抛光液由抛光盘中心孔通道喷出。采用上述抛光装置对工件进行加工，抛光盘高速自转同时采用慢速公转运动进行加工或以某加工参考点为圆心且在一定长度范围的圆周上进行有限数量点加工。本实用新型采用抛光环状盘式结构代替已有抛光球或抛光柱形式，用面接触式加工代替点接触式或线接触式加工，扩大定点加工下的抛光区面积以提高加工效率；在抛光盘底部设计了动压槽，能够使抛光盘在高速旋转时产生更强的动压力，增加了动压膜厚度，保证非接触式加工顺利进行。

主权项

一种基于动压效应的盘式抛光装置，包括抛光头和粘接在抛光头上的抛光垫，其特征在于，所述抛光头下部为圆盘式结构与抛光垫一同形成抛光盘，盘底部带有动压槽，抛光盘为中间带孔的环形结构，抛光液由抛光盘中心孔通道喷出。