用于材料表面处理的低温等离子电源

摘要

本实用新型公开了一种用于材料表面处理的低温等离子电源，包括依次连接的交流变换单元、波形整形单元和材料表面处理单元。本实用新型的有益效果是：本实用新型的波形整形单元采用多原边变压器，能够输出多种前沿脉冲输出，再通过方波发生器的输出方波的调节脉宽，实现了频率0-50kHZ可调、电压0-50kV可调、脉宽1-100μs可调、上升沿300ns-15μs可调的单极性脉冲；本实用新型的输出电压为单极性，使得两个电极板之间放电非常均匀，对工件和电极板基本没有破坏性，保证了工件或材料的完整性，延长了电极板的使用寿命。

主权项

用于材料表面处理的低温等离子电源，其特征在于：包括依次连接的交流变换单元、波形整形单元和材料表面处理单元，所述的交流变换单元包括变压器T1和整流器D1，所述的变压器T1一端连接市电，另一端经整流器D1连接到波形整形单元，所述的波形整形单元包括变压器T3、功率开关管Q1和方波发生器T2，所述的变压器T3为多原边变压器，变压器T3的所有原边中的都有一端口经功率开关管Q1接地，剩下的端口各自通过一个开关连接到交流变换单元，功率开关管Q1的控制端连接到方波发生器T2，所述的材料表面处理单元包括两个平行相隔的电极板，该两个电极板分别连接到变压器T3的副边的两个端口上，两个电极板上还并联有一个放电电阻R2，所述的变压器T3与交流变换单元之间还串接有一个可调电感L1。