| 发明名称 | 镀膜玻璃用硅靶水冷却系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种镀膜玻璃用硅靶水冷却系统，其特征是它包括有靶水冷座（1），所述靶水冷座（1）中设有水冷隔离板（2），水冷隔离板（2）的上方形成冷却水槽，水冷隔离板（2）的下方设有磁铁（3），在所述冷却水槽的上方设有铜背板（4），铜背板（4）的上方设有硅靶（5）。本实用新型结构简单实用，设计合理，改进后的水冷系统将冷却水与磁铁隔离，能有效提高产品的稳定性，节约了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN203625235U | 申请公布日期 | 2014.06.04 |
| 申请号 | CN201320709867.5 | 申请日期 | 2013.11.12 |
| 申请人 | 无锡康力电子有限公司 | 发明人 | 曹俊 |
| 分类号 | C03C17/00(2006.01)I | 主分类号 | C03C17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人 | 徐冬涛;苗建 |
| 主权项 | 一种镀膜玻璃用硅靶水冷却系统，其特征是它包括有靶水冷座（1），所述靶水冷座（1）中设有水冷隔离板（2），水冷隔离板（2）的上方形成冷却水槽，水冷隔离板（2）的下方设有磁铁（3），在所述冷却水槽的上方设有铜背板（4），铜背板（4）的上方设有硅靶（5）。 | ||
| 地址 | 214253 江苏省无锡市宜兴市新建工业园166号 | ||