离子源电弧狭缝的校正工具及方法

摘要

本发明涉及一种离子源电弧狭缝的校正工具及方法，通过将测试工具的测试端在盖板的狭缝上划过去：如果测试端能够插入到狭缝上的任意一点中的，则狭缝的宽度超过临界值，盖板不能继续使用；如果测试端不能够插入到狭缝中的，盖板能够继续使用。本发明能够方便对盖板狭缝宽度尺寸进行检测，从而清楚地定义了盖板允许使用的范围，避免人为手动使用游标卡尺测量产生的误差，造成不必要的损失，因此可以避免产生过多的X射线；降低束流调谐失败率，以提高机台的正常运行时间。

主权项

一种离子源电弧狭缝的校正工具，用于对离子源起弧室（10）的盖板（30）上狭缝（31）的宽度尺寸进行校正，其特征在于，所述校正工具（40）设有至少一个测试端（41），该测试端（41）的直径为设定的校正数值；所述测试端（41）的校正数值，与允许继续使用的盖板（30）上所述狭缝（31）宽度的临界值一致。