发明名称 一种手动式加酸工具
摘要 本实用新型涉及一种湿法刻蚀机台的附属装置,尤其涉及一种手动式加酸工具,该手动式加酸工具包括保护箱和位于保护箱内部的抗腐蚀容器,所述抗腐蚀容器顶部设置有密封装置,该密封装置上设置有气体输入管和液体导出管,所述气体输入管上连接有气体泄压管;所述保护箱的侧壁上设置有气体输入管口和液体导出管口以及气体泄压管口,所述气体泄压管上设置有手动泄压阀。从而避免了由于抗腐蚀容器内的酸性液态化学物质泄露而导致的人员及环境安全隐患,同时也避免了在操作过程中化学物质挥发对人体产生的伤害。由于本实用新型工具为手动式加酸,使得在使用本工具进行加酸时,不用借助外接的能源,具有经济环保的效果。
申请公布号 CN203631501U 申请公布日期 2014.06.04
申请号 CN201320746956.7 申请日期 2013.11.22
申请人 中航(重庆)微电子有限公司 发明人 雍杰;朱炎军
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 上海申新律师事务所 31272 代理人 竺路玲
主权项 一种手动式加酸工具,其特征在于,所述加酸工具包括保护箱和位于保护箱内部的抗腐蚀容器;所述抗腐蚀容器顶部设置有密封装置,该密封装置上设置有气体输入管和液体导出管,所述气体输入管上连接有气体泄压管;所述保护箱的侧壁上设置有气体输入管口和液体导出管口以及气体泄压管口;所述气体输入管包括气体输入口和气体输出口,该气体输入口通过所述气体输入管口与外部设备连接,所述气体输入管的气体输出口插入到所述抗腐蚀容器的内部;所述液体导出管包括液体导入口和液体导出口,该液体导入口插入到所述抗腐蚀容器的内部,所述液体导出管的液体导出口通过所述液体导出管口与外部设备连接;所述气体泄压管上设置有手动泄压阀。
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