发明名称 化学蒸镀用之有机铂化合物及使用该有机铂化合物之化学蒸镀方法
摘要
申请公布号 TWI439563 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW101113721 申请日期 2012.04.18
申请人 田中贵金属工业股份有限公司 日本 发明人 铃木和治;锅谷俊一;斋藤昌幸
分类号 C23C16/18;C07F15/00 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 日本