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发明名称 于压印微影中产生对液滴容积及液滴配置具容许变异之液滴图案的稳健最佳化技术
摘要
申请公布号 TWI439327 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW098135406 申请日期 2009.10.20
申请人 分子压模公司 美国 发明人 舒玛克　菲力普Ｄ
分类号 B05D5/00;G03F7/00 主分类号 B05D5/00
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址 美国
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