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发明名称 半导体装置之制作方法
摘要
申请公布号 TWI440072 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW097139501 申请日期 2008.10.15
申请人 联华电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 发明人 廖晋毅;简金城
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人 戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3;吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号
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