发明名称 扩晶环夹掣装置
摘要
申请公布号 TWM479513 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW103201900 申请日期 2014.01.29
申请人 刘盈坤 南投县中寮乡永平路349之5号 发明人 刘盈坤
分类号 H01L21/683 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人 田国健 台中市南区忠明南路789号23楼
主权项
地址 南投县中寮乡永平路349之5号