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经营范围
发明名称 光学元件及曝光装置
摘要
申请公布号 TWI439823 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW101127739 申请日期 2004.08.26
申请人 尼康股份有限公司 日本 发明人 白井健;国分崇生;村上敦信;石泽均
分类号 G03F7/20;G02B27/18 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址 日本
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