发明名称 半导体之气隙的制作方法及其结构
摘要
申请公布号 TWI440134 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW100135719 申请日期 2011.10.03
申请人 瑞晶电子股份有限公司 台中市后里区三丰路429之1号 发明人 松田拥
分类号 H01L21/764 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人 黄志扬 台北市中山区长安东路1段23号10楼之1
主权项
地址 台中市后里区三丰路429之1号