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发明名称 正型光阻材料及图型形成方法
摘要
申请公布号 TWI439805 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW098104507 申请日期 2009.02.12
申请人 信越化学工业股份有限公司 日本 发明人 大泽洋一;金生刚;大桥正树;橘诚一郎;渡边武;畠山润
分类号 G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本
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