| 发明名称 |
用以定义薄膜电晶体之源极、汲极与半导体层之图案的灰阶光罩 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI439800 |
申请公布日期 |
2014.06.01 |
| 申请号 |
TW097134820 |
申请日期 |
2008.09.11 |
| 申请人 |
中华映管股份有限公司 桃园县八德市和平路1127号 |
发明人 |
蔡东晓;苏大荣 |
| 分类号 |
G03F1/32;H01L29/786 |
主分类号 |
G03F1/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3;吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3 |
| 主权项 |
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| 地址 |
桃园县八德市和平路1127号 |
