成膜方法及成膜装置,申请号TW097111065-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	成膜方法及成膜装置
摘要
申请公布号	TWI440092	申请公布日期	2014.06.01
申请号	TW097111065	申请日期	2008.03.27
申请人	东京威力科创股份有限公司日本	发明人	五味淳;水泽宁;波多野达夫;原正道;横山敦;多贺敏
分类号	H01L21/3205;H01L21/67	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人	林志刚台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址	日本

您可能感兴趣的专利

ФУНКЦИОНАЛЬНО-ПОЛНЫЙ ТОЛЕРАНТНЫЙ ЭЛЕМЕНТ

ПИСТОЛЕТ СМАЗОЧНЫЙ

СИСТЕМА И СПОСОБ ВЫДАЧИ ЭЛЕКТРОННОЙ МЕДИЦИНСКОЙ КАРТЫ

ПРОИЗВОДНЫЕ ДИАРИЛПИРИДАЗИНОНА, ИХ ПОЛУЧЕНИЕ И ПРИМЕНЕНИЕ ДЛЯ ЛЕЧЕНИЯ ЛЮДЕЙ

СТАБИЛЬНЫЕ ПОЛИАКРИЛОВЫЕ КИСЛОТЫ, ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЕ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ

НЕПРЕРЫВНЫЙ СПОСОБ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СИЛОВОГО КАБЕЛЯ ВЫСОКОГО НАПРЯЖЕНИЯ

НОВАЯ ФАРМАЦЕВТИЧЕСКАЯ КОМПОЗИЦИЯ, ВКЛЮЧАЮЩАЯ НПВС И ЦИКЛОДЕКСТРИН

СПОСОБ И ЖИДКОСТЬ ДЛЯ УЛУЧШЕНИЯ ПРОНИЦАЕМОСТИ ПЛАСТОВ ПЕСЧАНИКА С ПОМОЩЬЮ ХЕЛАТИРУЮЩЕГО АГЕНТА

СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ БЫТОВЫМ ПРИБОРОМ И БЫТОВОЙ ПРИБОР

СПОСОБ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ГИДРАВЛИЧЕСКОГО РАЗРЫВА ПЛАСТА УГЛЕВОДОРОДОВ ПРИ ВЫСОКОМ ДАВЛЕНИИ И СВЯЗАННЫЙ С НИМ ПРОЦЕСС

METHOD OF MAKING MULTILAYER BODY AND MULTILAYER BODY

ACTIVE MATERIAL OF POSITIVE ELECTRODE FOR LITHIUM-ION SECONDARY BATTERY

CRYSTALLINE ACTIVE INGREDIENT DRIED WITH SPRAY DRYING

METHOD OF SWITCHING OF FUEL FEED TO COMBUSTION CHAMBER

SOLAR COLLECTOR FOR WATER HEATING AND METHOD OF ITS USE IN CONSTRUCTION AS SHEET ROOFING MODULES FOR ERECTION OF PITCHED ROOFS

METHODS AND COMPOSITIONS FOR HEPSIN MODULATION OF MACROPHAGE-STIMULATING PROTEIN

THERAPEUTIC CARBOHYDRATES FOR TREATING RESPIRATORY DISEASES

METHOD OF OBTAINING ZEOLITE NaY GRANULATED WITHOUT BINDING AGENT

METHOD OF SELECTIVE OBTAINING OF 1'-ALKYL-1'-N-CYCLOHEXYLCARBOXAAMIDYLCYCLOPROPA[2',3':1,9](C-I)[5,6]FULLERENES

METHOD FOR PREPARING 1-(2-HALOGENOBIPHENYL-4-YL)-CYCLOPROPANECARBOXYLIC ACID DERIVATIVES