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发明名称 脉冲超高纵横尺寸比之介电材料蚀刻
摘要
申请公布号 TWI440083 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW097104575 申请日期 2008.02.05
申请人 兰姆研究公司 美国 发明人 秦孔固;艾瑞克Ａ　依德柏格
分类号 H01L21/3065;H01L21/768 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人 许峻荣 新竹市民族路37号10楼
主权项
地址 美国
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