基于图案制作真确度之图案制作系统设计方法与装置,申请号TW100126025-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	基于图案制作真确度之图案制作系统设计方法与装置
摘要
申请公布号	TWI439822	申请公布日期	2014.06.01
申请号	TW100126025	申请日期	2011.07.22
申请人	国立台湾大学台北市大安区罗斯福路4段1号	发明人	蔡坤谕;陈胜勇;伍海涛;马学亿
分类号	G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人	詹铭文台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址	台北市大安区罗斯福路4段1号

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