一种在三族氮化物磊晶过程中降低缺陷产生的方法,申请号TW099110277-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	一种在三族氮化物磊晶过程中降低缺陷产生的方法
摘要
申请公布号	TWI440074	申请公布日期	2014.06.01
申请号	TW099110277	申请日期	2010.04.02
申请人	国立交通大学新竹市大学路1001号	发明人	张翼;黄延仪
分类号	H01L21/203	主分类号	H01L21/203
代理机构		代理人	黄孝惇台北市松山区民权东路3段140巷9号2楼之5
主权项
地址	新竹市大学路1001号

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