| 摘要 |
웨이퍼들 상에서 측정들이 수행되는 프로세스에 대한 동적 샘플링 방식을 형성하거나 수행하기 위한 여러 다양한 방법들 및 시스템들이 제공된다. 웨이퍼들 상에서 측정들이 수행되는 프로세스에 대한 동적 샘플링 방식에 대한 한 가지 방법은 상기 웨이퍼들 상의 모든 측정 스팟들에서 적어도 하나의 로트 내 모든 웨이퍼들 상에서 측정들을 수행하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 또한 상기 측정들의 결과들에 기초하여, 최적 샘플링 방식, 증강된 샘플링 방식, 감소된 샘플링 방식, 및 상기 프로세스에 대한 상기 동적 샘플링 방식에 대한 임계치들을 결정하는 단계를 포함한다. 상기 임계치들은 상기 최적 샘플링 방식, 상기 증강된 샘플링 방식 및 상기 감소된 샘플링 방식이 상기 프로세스에 대해 사용되어야 하는 상기 측정들의 값들에 대응한다. |
