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发明名称 Method of detection of the silicon irradiation by electrons
摘要
申请公布号 PL216856(B1) 申请公布日期 2014.05.30
申请号 PL20080386569 申请日期 2008.11.20
申请人 INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ 发明人 B&Aogon,K-MISIUK JADWIGA;FELBA JAN;JUNG WOJCIECH;MEGE&Lstrok,A IVAN;MISIUK ANDRZEJ;PRUJSZCZYK MAREK;SURMA BARBARA
分类号 H01L21/66;G01N23/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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