一种检测三氯氢硅合成炉尾气的装置

摘要

一种检测三氯氢硅合成炉尾气的装置，属于三氯氢硅合成设备技术领域，用于检测合成炉的尾气中的不凝气含量。其技术方案是：它包括一台盐水冷凝器，在盐水冷凝器外有保温层，盐水冷凝器的进气口与三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，盐水冷凝器的出气口连接尾气取样管，盐水冷凝器与多个三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，在各个三氯氢硅合成炉的尾气出口管道上安装有合成炉尾气阀门。本实用新型将高温的合成炉尾气进入盐水冷凝器冷凝后，不凝气由取样口取出，合成炉尾气阀门可以控制需检测的合成炉，反应不好的合成炉可停车检修，避免长期使用造成成本的浪费。本实用新型结构简单、制作容易、成本低，能有效地解决三氯氢硅合成炉尾气检测的问题。

主权项

一种检测三氯氢硅合成炉尾气的装置，其特征在于：它的构成中包括一台盐水冷凝器（1），在盐水冷凝器（1）外有保温层（2），盐水冷凝器（1）的进气口与三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，盐水冷凝器（1）的出气口连接尾气取样管（4），尾气取样管（4）处有通气孔。