像素单元、图像传感器、系统及形成像素单元的方法

摘要

本发明公开了一种像素单元、一种包括所述像素单元的图像传感器、一种包括所述像素单元的系统及一种形成像素单元的方法。所述像素单元包括基底、外延层和在外延层中的光电转换装置。外延层具有凸出形状的掺杂浓度曲线，并包括堆叠在基底上的多个层。光电转换装置不包括沿垂直方向电势恒定的中性区域。因此，包括所述像素单元的图像传感器具有高量子化效率，并且减小了光电转换装置之间的串扰。

主权项

一种像素单元，所述像素单元包括：基底；外延层，具有凸出形状的掺杂浓度曲线，外延层包括堆叠在基底上的至少一个层；光电转换装置，在外延层中，其中，外延层包括：第一导电性类型的第一外延层，在基底上，具有第一掺杂浓度；第一导电性类型的第二外延层，在第一外延层上，具有高于第一掺杂浓度的第二掺杂浓度；第一导电性类型的第三外延层，在第二外延层上，具有低于第二掺杂浓度的第三掺杂浓度，其中，第二外延层在第一外延层和第三外延层之间。