发明名称 |
光敏性树脂组合物、光敏性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷电路板的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种光敏性树脂组合物、光敏性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷电路板的制造方法,所述光敏性树脂组合物含有(A)酸改性含乙烯基环氧树脂、(B)包含1,2-辛烷二酮-1-[4-(苯基硫代)苯基]-2-(O-苯甲酰基肟)的光聚合引发剂、以及(C)增敏剂。 |
申请公布号 |
CN102621810B |
申请公布日期 |
2014.05.28 |
申请号 |
CN201210116487.0 |
申请日期 |
2008.05.08 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
佐藤邦明;吉野利纯;大川昌也;日高敬浩;立木秀康 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;G03F7/031(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
钟晶;於毓桢 |
主权项 |
1.一种光敏性树脂组合物,含有(A)酸改性含乙烯基环氧树脂、(B)包含由下述式(9)表示的1,2-辛烷二酮-1-[4-(苯基硫代)苯基]-2-(O-苯甲酰基肟)的光聚合引发剂、以及(C)增敏剂;所述(C)增敏剂包含由下述式(10)表示的7,7’-二(二乙基氨基)-3-酮-香豆素或由下述式(17)表示的化合物,所述(A)酸改性含乙烯基环氧树脂为从由下述通式(5)表示的酚醛清漆型环氧树脂以及由下述通式(6)表示的双酚型环氧树脂构成的组中选择的至少一种环氧树脂(a)与含乙烯基单羧酸(b)反应而得到的树脂,<img file="FDA0000407701820000011.GIF" wi="1126" he="377" />式(5)中R<sup>11</sup>表示氢原子或甲基,Y<sup>1</sup>表示氢原子或缩水甘油基,Y<sup>1</sup>中,氢原子/缩水甘油基的摩尔比为0/100~30/70,n1表示1以上的整数;另外,所存在的多个R<sup>11</sup>和Y<sup>1</sup>各自相同或不同;<img file="FDA0000407701820000012.GIF" wi="1644" he="882" />式(6)中R<sup>12</sup>表示氢原子或甲基,Y<sup>2</sup>表示氢原子或缩水甘油基,Y<sup>2</sup>中,氢原子/缩水甘油基的摩尔比为0/100~30/70,n2表示1以上的整数;另外,所存在的多个R<sup>12</sup>和Y<sup>2</sup>各自相同或不同;<img file="FDA0000407701820000021.GIF" wi="1564" he="1783" /> |
地址 |
日本东京都千代田区丸内一丁目9番2号 |