自动化样品定向

摘要

在此披露了一种用于对放置在真空室内的样品进行对准从而使得样品被定向成与聚焦离子束垂直的方法。使用聚焦例程确定样品表面上不同斑点的位置。不同斑点的位置用于创建确定所需要的准确校准的影像线或影像平面。然后，该影像线或影像平面用于对样品台进行校准，从而使得样品被对准成基本上与聚焦离子束垂直。

主权项

一种用于在带电粒子束系统内对样品进行对准的方法，包括：    将样品装载到具有带电粒子束的真空室内；    将该样品放在带电粒子束下面；    将该带电粒子束引导至该样品表面上的至少两个不同的斑点；    在该至少两个不同斑点上聚焦；    确定每个斑点距离基本上与该样品共心的固定斑点的距离；    使用每个斑点的距离对该样品进行定向，从而使得该样品对准到该聚焦离子束。